走査型電子顕微鏡 日本電子製 JSM-7001FA 
透過電子顕微鏡 日本電子社製JEM-2010 
Ｘ線回折装置 Rigaku SmartLab 
Ｘ線回折装置 Rigaku RINT-RAPID II 
Ｘ線回折装置 理学電機 RINT SmartLab SE 
単結晶ラウエカメラ ラウエカメラ＋X線発生装置 
フルオロ・イメージ解析システム 英国GEﾍﾙｽｹｱ社製 Typhoon FLA7000，FLA Image Eraser 
薄膜材料結晶性解析X線回折装置 フィリップス社 X'Pert PRO MRD 
断面試料作製装置 日本電子 SM-09010 
精密イオン研磨機 GATAN社 Model 691
